集成電路領(lǐng)域的高端裝備國產(chǎn)化進(jìn)程又進(jìn)一步。記者從清華控股有限公司獲悉：由清華大學(xué)科技成果成功轉(zhuǎn)化的國內(nèi)首臺12英寸化學(xué)機械拋光機近日交付使用。該產(chǎn)品擁有多區(qū)拋光頭、直驅(qū)高精度拋光盤、終點檢測等多項核心技術(shù)，主要性能指標(biāo)達(dá)到了當(dāng)前國際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。與國外同類產(chǎn)品相比，其技術(shù)先進(jìn)、性能穩(wěn)定、成本更低，具有明顯的競爭優(yōu)勢。        化學(xué)機械拋光是通過使用化學(xué)腐蝕和機械作用對加工過程中的晶圓進(jìn)行平坦化處理，以便獲得納米級別的平整表面，是集成電路制造工藝中的五大關(guān)鍵技術(shù)之一。在國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路平坦化工藝與材料”的支持下，清華大學(xué)研制出了國內(nèi)首臺12英寸“干進(jìn)干出”銅制程拋光機，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或者超過國外最先進(jìn)產(chǎn)品的水平。
       清華控股成員企業(yè)天津華海清科機電科技有限公司接受清華大學(xué)的技術(shù)轉(zhuǎn)讓，擁有了化學(xué)機械拋光的核心技術(shù)，在國內(nèi)率先具備研發(fā)和生產(chǎn)12英寸前段和后段拋光整機設(shè)備的能力。近日，華海清科首臺12英寸化學(xué)機械拋光機交付中芯國際，標(biāo)志著國內(nèi)12英寸化學(xué)機械拋光機已進(jìn)入大型生產(chǎn)線。