上海新陽:公司開發(fā)的晶圓制造用化學(xué)機械研磨液主要包括適用于淺槽隔離研磨液、金屬鎢研磨液等系列產(chǎn)品
關(guān)鍵詞 上海新陽|2025-07-11 14:27:05|來源 每日經(jīng)濟新聞
摘要 每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問公司是否有拋光液產(chǎn)品?如沒有,后續(xù)是否考慮在此方向布局?上海新陽(300236.SZ)7月11日在投資者互動平臺表示,公司開發(fā)的晶圓...
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問公司是否有拋光液產(chǎn)品?如沒有,后續(xù)是否考慮在此方向布局?
上海新陽(300236.SZ)7月11日在投資者互動平臺表示,公司開發(fā)的晶圓制造用化學(xué)機械研磨液主要包括適用于淺槽隔離研磨液(STI Slurry)、金屬鎢研磨液(W Slurry)、金屬銅研磨液(Cu Slurry)、硅氧化層研磨液(Oxide Slurry),多晶硅層研磨液(Poly Slurry)等系列產(chǎn)品,可覆蓋 14nm 及以上技術(shù)節(jié)點。
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