金剛石具有優(yōu)異的物理、化學(xué)性質(zhì)，在所有物質(zhì)中具有最高的硬度，室溫下有最高的熱導(dǎo)率，極低的熱膨脹系數(shù)，低摩擦系數(shù)，良好的化學(xué)穩(wěn)定性，大的禁帶寬度(5.5Ev)，最高的聲傳播速度，較高的半導(dǎo)體摻雜性以及從遠(yuǎn)紅外光區(qū)到紫外光區(qū)的光學(xué)透過(guò)性，使得其在機(jī)加工、微電子、光學(xué)等許多領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。然而天然金剛石數(shù)量極少，高溫高壓合成的金剛石由于受粒度限制且價(jià)格昂貴，使金剛石的優(yōu)異性能不能充分利用。1982年，Matsrmto等人使用化學(xué)氣相沉積法（CVD）制備出了金剛石膜，使得金剛石的優(yōu)異性能得以充分發(fā)揮，從而在全世界范圍內(nèi)掀起了CVD金剛石膜研究熱潮。我國(guó)目前也加大了對(duì)金剛石膜的研究投資力度，并有多家研究單位投入了大量的人力進(jìn)行此項(xiàng)研究工作，根據(jù)國(guó)內(nèi)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和國(guó)內(nèi)技術(shù)經(jīng)濟(jì)發(fā)展特點(diǎn)，金剛石薄膜涂層工具、金剛石熱沉基片、場(chǎng)發(fā)射顯示器件、聲表面波器件及納米金剛石膜的應(yīng)用將有望陸續(xù)進(jìn)入市場(chǎng)。
　　摘自《金剛石與磨料磨具工程》2004.3